绝缘栅

芯片竟是用普通的沙子做的堪称人类在纳米

发布时间:2023/3/30 17:30:48   

全球车企纷纷停产,甚至连PlayStation游戏机都“一机难求”,这背后存在一个共同原因:芯片短缺。自去年12月起,汽车行业缺乏芯片面临停产的问题就开始困扰无数车企。时至今日芯片短缺问题并未缓解,反而还有愈演愈烈之势。AlixPartners数据显示,全球汽车行业可能因芯片短缺问题损失亿的销售额。

芯片的技术,是展现一个国家科技水平方面之一。

芯片的精细程度,你只有在显微镜的下面才能看到其壮观的一面,每一片芯片可以看成是一座座繁华的城市,盘根错节。

那么问题来了,这些精妙的结构是怎么造起来的呢?蚂蚁在芯片上都能当一只小怪兽了。

如何在纳米尺度雕刻芯片?

首先我们要知道,芯片里最基础的结构是晶体管,像这种鳍式场效应晶体管,由不同类型的半导体、绝缘体和金属导体堆叠而成。

而这一切的起点竟然只是普通的沙子,这...沙子也能变成高科技产品吗?

沙子经过还原、提纯、结晶等方式可以将其中的二氧化硅变成单晶硅。

纯度能做到10万吨仅含1g杂质,形成硅锭。

再经过切割、抛光,得到不足1毫米厚的薄片,成为晶圆。直径可达12英寸,30厘米。

那想要在晶圆这块地基上造出鳍式场效应晶体管,所需的工艺异常繁多,主要包括沉积,比如在晶圆表面沉积一层二氧化硅,然后是光刻,将光刻胶均匀涂抹在晶圆上,上方射下紫外线,经过一层光罩,只允许紫外线按设计好的图案通过,再经过一组透镜光学系统聚焦,照到晶圆上的光刻胶,被曝光的部分就会发生化学反应,在后续被溶解、冲洗,以此定义下方的图形。

之后还有刻蚀,利用等离子体物理轰击和气体化学反应,那些未被光刻胶覆盖的氧化层会和下方的硅一起被刻蚀掉,形成凸起的结构,也就是鳍式场效应晶体管的“鳍”,如此不断组合重复沉积、光刻、刻蚀等步骤,我们就可以一步一步制作出晶体管其他结构,并制作出上方的电路。

经过少则数百道工序,历时3-4个月,一片12英寸的晶圆可以造出约块甚至更多的芯片。

需要注意,芯片的性能很大程度上是由晶体管的数量决定,年,Intel的有个晶体管,而50年后,亿个晶体管的芯片也已经开始走入了普通家庭。而想要在单位面积内增加晶体管数量,就意味着晶体管必须足够小,像手机通常使用的7nm的制程芯片,单个晶体管栅极长度约为57nm,鳍片厚度约为6nm,每平方毫米就可以做出约1亿个晶体管。

这里还有个隐藏问题,芯片制造过程中,用于绘制电路轮廓的光刻工序很大程度上决定了晶体管能有多小,目前主流的光刻机利用波长在nm的深紫外线光,可以在晶圆表面清晰成像的最小间隔尺寸,即分辨率能达到38nm。但38nm的分辨率要如何做出6nm宽的结构呢?

答案就是多重曝光。

比如SADP自对准双重成像技术,虽然光刻的分辨率有限,单次曝光后形成的结构尺寸较大,但可以通过沉积和刻蚀在心轴两侧形成间隔物,再由额外的刻蚀移除心轴,让间隔物定义下方的结构尺寸,小小只有原先的一半,再重复一次这个操作,还能得到只有原先四分之一大小的结构尺寸,称为SAQP自对准四重成像技术。

可以看出,这类方法离不开刻蚀工序的增加,正因此,近年来,刻蚀机的需求也越来越高。年,刻蚀机在芯片制造产线中,取代了光刻机成为晶圆加工厂投资额最高的设备。

你会发现,在这场肉眼根本不可见的雕刻过程中,芯片不仅是一个电子元件,更是人类在纳米尺度最精细的建筑艺术。



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