产品概述

KEYSIGHTBA（安捷伦）

KeysightBA(Agilent)半导体器件分析仪是一款模块化仪器，具有十槽配置，支持IV和CV测量以及快速高压脉冲。其熟悉的MicrosoftWindows用户界面支持安捷伦的EasyEXPERT软件，该软件为设备表征提供了一种新的、更直观的面向任务的方法。KeysightBA(Agilent)具有极低电流、低电压和集成电容测量能力，可用于满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP支持BA）。它也是非易失性存储单元表征和高速器件表征（包括高级NBTI测量）的出色解决方案。

KeysightBA（安捷伦）的特性和优势包括：

卓越的IV测量性能：0.1fA/0.5V测量分辨率

测量功能包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态CV（使用SMU）、HV-SPGU的直接控制和任意线性波形生成(ALWG)GUI。

可选的集成电容模块支持高达5MHz的CV测量

可选的基于定位器的CV-IV开关解决方案具有0.5V电压测量分辨率和10fA、1fA或0.1fA电流测量分辨率能力

通过内置半自动晶圆探针驱动器和测试序列轻松实现测试自动化，无需通过快速测试模式进行编程

可选的高压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)具有10ns可编程脉冲宽度和+/-40V（80V峰峰值）输出。

可选的波形发生器/快速测量单元(WGFMU)具有ALWG和快速电流或电压测量功能。

10ns脉冲IV解决方案可用于表征高k栅极电介质和SOI（绝缘体上硅）晶体管。

经典测试模式可用于提供/界面的外观、感觉和术语，同时通过充分利用MicrosoftWindowsGUI功能增强用户交互

KeysightBA(Agilent)半导体器件分析仪的主要规格包括：

一般特征

带有WindowsXPProfessional操作系统的基于PC的仪器

用于电流电压(IV)、电容电压(CV)、脉冲生成、快速IV和时域测量的单盒解决方案。

十个用于源监视器单元(SMU)和其他模块类型（MFCMU、HV-SPGU和WGFMU）的模块插槽*

通过DesktopEasyEXPERT软件进行离线数据分析和应用测试开发

测量能力

支持0.1fA和0.5V的电流-电压(IV)测量

支持准静态和中频电容电压(CV)测量]

支持脉冲IV、NBTI和RTS测量等广泛应用的准确快速IV和时域测量。

支持用于高功率和存储设备测试的高压脉冲生成（高达±40V）。

模块选择指南：