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金融界年1月24日消息,据国家知识产权局公告,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请一项名为“绝缘栅双极型晶体管结构及其制备方法“,公开号CNA,申请日期为年7月。
专利摘要显示,本发明涉及一种绝缘栅双极型晶体管结构及其制备方法。绝缘栅双极型晶体管结构的制备方法包括:提供基底,基底具有有源区、过渡区和终端区,且包括半导体衬底、栅介质材料层以及导电接触材料层,栅介质材料层以及导电接触材料层依次层叠形成在半导体衬底上;对导电接触材料层进行图形化处理,形成导电接触层,及在过渡区形成电荷释放通孔;至少于过渡区的电荷释放通孔底部形成栅介质增强层;于栅介质增强层上形成层间介质层,且对栅介质材料层进行图形化处理,形成栅介质层。本申请可以有效防止器件栅极漏电。
本文源自:金融界
作者:情报员