IGBT(InsulatedGateBipolarTransistor),绝缘栅双极型晶体管,是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)构成的复合全控型电压启动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的长处。GTR饱和压升高,载流密度大,但启动电流较大;MOSFET启动功率很小,开关速率快,但导通压降大,载流密度小。IGBT归纳了以上两种器件的长处,启动功率小而饱和压升高。特别恰当运用于直流电压为V及以上的变流系统如换取机电、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等畛域。
IGBT模块是由IGBT(绝缘栅双极型晶体管芯片)与FWD(续流二极管芯片)经过特定的电路桥接封装而成的模块化半导体产物;封装后的IGBT模块直接运用于变频器、UPS不连续电源等征战上;
IGBT模块具备节能、安置修理便利、散热平稳等特征;现时商场上贩卖的多为此类模块化产物,普遍所说的IGBT也指IGBT模块;跟着节能环保等观念的推动,此类产物在商场大将越来越常见;
IGBT是动力更动与传输的中央器件,俗称电力电子安设的“CPU”,做为国度计谋性新兴财产,在轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新动力安设等畛域运用极广。
希望史籍
年,MOS栅功率开关器件做为IGBT观念的先驱即已被先容到尘世。这类器件展现为一个类晶闸管的构造(P-N-P-N四层构成),其特征是经过强碱湿法刻蚀工艺造成了V形槽栅。
80年头早期,用于功率MOSFET制造技巧的DMOS(双分散造成的金属-氧化物-半导体)工艺被采纳到IGBT中来。[2]在阿谁时辰,硅芯片的构造是一种较厚的NPT(非穿通)型计划。后来,经过采纳PT(穿通)型构造的办法得到了在参数折中方面的一个显著革新,这是跟着硅片上外在的技巧提升,以及采纳对应给定阻断电压所计划的n+缓冲层而希望的[3]。几年当中,这类在采纳PT计划的外在片上制备的DMOS平面栅构造,其计划规定从5微米先进到3微米。
90年头中期,沟槽栅构造又返回到一种新观念的IGBT,它是采纳从大范围集成(LSI)工艺模仿来的硅干法刻蚀技巧完成的新刻蚀工艺,但仍旧是穿通(PT)型芯片构造。[4]在这类沟槽构造中,完成了在通态电压和关断功夫之间折中的更要害的革新。
硅芯片的重直构造也得到了赶紧的动弹,先是采纳非穿通(NPT)构造,既而改变成弱穿通(LPT)构造,这就使平安做事区(SOA)得到同表面栅构造蜕变好似的改正。
此次从穿通(PT)型技巧先进到非穿通(NPT)型技巧,是最根底的,也是很庞大的观念改变。这即是:穿通(PT)技巧会有较量高的载流子注入系数,而由于它请求对小量载流子寿命实行掌握以致其输运效率变坏。另一方面,非穿通(NPT)技巧则是基于错误少子寿命实行杀伤而有很好的输运效率,不过其载流子注入系数却较量低。从而言之,非穿通(NPT)技巧又被软穿通(LPT)技巧所取代,它好似于某些人所谓的“软穿通”(SPT)或“电场截至”(FS)型技巧,这使得“成本—功用”的归纳结果得到进一步改正。
年,CSTBT(载流子贮存的沟槽栅双极晶体管)使第5代IGBT模块得以完成[6],它采纳了弱穿通(LPT)芯片构造,又采纳了更先进的宽元胞间距的计划。今朝,囊括一种“反向阻断型”(逆阻型)功用或一种“反引导通型”(逆导型)功用的IGBT器件的新观念正在实行探索,以求得进一步优化。
IGBT功率模块采纳IC启动,种种启动掩护电路,高功用IGBT芯片,新式封装技巧,从复合功率模块PIM希望到智能功率模块IPM、电力电子积木PEBB、电力模块IPEM。PIM向高压大电流希望,其产物程度为—A/—V,IPM除用于变频调速外,A/V的IPM已用于电力机车VVVF逆变器。平面低电感封装技巧是大电流IGBT模块为有源器件的PEBB,用于舰艇上的导弹发射安设。IPEM采纳共烧瓷片多芯片模块技巧组装PEBB,大大升高电路接线电感,抬高系统效率,现已开拓胜利第二代IPEM,此中一齐的无源元件以埋层方法安葬在衬底中。智能化、模块化成为IGBT希望热点。
此刻,大电流高电压的IGBT已模块化,它的启动电路除上头先容的由分立元件构成以外,此刻已制造出集成化的IGBT专用启动电路.其功用更好,整机的牢靠性更高及体积更小。
研发希望
IGBT(绝缘栅双极晶体管)做为新式电力半导体场控自关断器件,集功率MOSFET的高速功用与双极性器件的低电阻于一体,具备输进阻抗高,电压掌握功耗低,掌握电路简明,耐高压,承担电流大等特征,在种种电力更动中得到极宽泛的运用。与此同时,各泰半导体临盆厂商一直开拓IGBT的高耐压、大电流、高速、低饱和压降、高牢靠、低成本技巧,要紧采纳1um下列制做工艺,研发开拓博得一些新希望。[3]
1、低功率IGBT
IGBT运用界限普遍都在V、1KA、1KHz以上地域,为知足家电行业的希望需要,摩托罗拉、ST半导体、三菱等公司推出低功率IGBT产物,合用于家电行业的微波炉、洗衣机、电磁灶、电子整流器、照像机等产物的运用。
2、U-IGBT
U(沟槽构造)--IGBT是在管芯上刻槽,芯片元胞内部造成沟槽式栅极。采纳沟道构造后,可进一步收缩元胞尺寸,缩小沟道电阻,提升电流密度,制造好似额定电流而芯片尺寸起码的产物。现有多家公司临盆种种U—IGBT产物,合用低电压启动、表面贴装的请求。
3、NPT-IGBT
NPT(非穿通型)--IGBT采纳薄硅片技巧,以离子注进发射区取代高繁杂、高成本的厚层高阻外在,可升高临盆成本25%左右,耐压越高成本差越大,在功用上更具备特征,高速、低消耗、正温度系数,无锁定效应,在计划—V的IGBT时,NPT—IGBT牢靠性最高。西门子公司可供应V、V、V系列产物和V高压IGBT,并推出低饱和压降DLC型NPT—IGBT,依克赛斯、哈里斯、英特西尔、东芝等公司也接踵研发出NPT—IGBT及其模块系列,富士机电、摩托罗拉等在研发当中,NPT型正成为IGBT希望方位。
4、SDB--IGBT
鉴于今朝厂家对IGBT的开拓特别正视,三星、赶快等公司采纳SDB(硅片直接键合)技巧,在IC临盆线上制做第四代高速IGBT及模块系列产物,特征为高速,低饱和压降,低拖尾电流,正温度系数易于并联,在V和V电压界限功用优质,分为UF、RUF两大系统。
5、超赶快IGBT
国际整流器IR公司的研发中心在于缩小IGBT的拖尾效应,使其能赶快关断,研发的超赶快IGBT可最大限度地缩小拖尾效应,关断功夫不超出ns,采纳非凡高能照耀分层技巧,关断功夫可在ns下列,拖尾更短,中心产物专为机电掌握而计划,现有6种型号,另可用在大功率电源更动器中。
6、IGBT/FRD
IR公司在IGBT根本上推出两款连合FRD(赶快复原二极管)的新式器件,IGBT/FRD有用连合,将更动形态的消耗缩小20%,采纳TO—造型封装,额定例格为V、25、50、75、A,用于机电启动和功率更动,以IGBT及FRD为根本的新技巧便于器件并联,在多芯片模块中完成更匀称的温度,提升总体牢靠性。
7、IGBT功率模块
IGBT功率模块采纳IC启动,种种启动掩护电路,高功用IGBT芯片,新式封装技巧,从复合功率模块PIM希望到智能功率模块IPM、电力电子积木PEBB、电力模块IPEM。PIM向高压大电流希望,其产物程度为—A/—V,IPM除用于变频调速外,A/V的IPM已用于电力机车VVVF逆变器。平面低电感封装技巧是大电流IGBT模块为有源器件的PEBB,用于舰艇上的导弹发射安设。IPEM采纳共烧瓷片多芯片模块技巧组装PEBB,大大升高电路接线电感,提升系统效率,现已开拓胜利第二代IPEM,此中一齐的无源元件以埋层方法安葬在衬底中。智能化、模块化成为IGBT希望热点。
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